就好像在显示机内的光栅扫描。这两种电子显微镜的放大率可从100倍到1 000 000倍甚至更高。应用隧穿效应，扫描隧道显微镜将电子从尖锐的金属针尖隧穿至样品表面。为了要维持稳定的电流，针尖会随着样品表面的高低而移动，这样即可得到分辨率为原子尺寸的样本表面影像。
在程序段中，必须明确组成程序段的各要素：移动目标：终点坐标值x、y、z；沿怎样的轨迹移动：准备功能字g；进给速度：进给功能字f；切削速度：主轴转速功能字s；使用刀具：刀具功能字t；机床辅助动作：辅助功能字m。
当这些粒子通过磁场时，它们会同步辐射。由于辐射的强度与自旋有关，因而造成了电子束的偏振。这过程称为索克洛夫-特诺夫效应。很多实验都需要使用偏振的电子束为粒子源。同步辐射也可以用来降低电子束温度
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